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FSU-8光刻胶

FSU-8光刻胶

新型的含氟FSU- 8 胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶,具有传统SU-8光刻胶的优点:适合于制备高深宽比微结构,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形;它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性。FSU- 8 含有大量的C-F键,可以进一步的增加材料的耐腐蚀性、耐候
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规格:本产品符合以下指标    

Specification:Meet the following criteria

新型的含氟FSU- 8 胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶,具有传统SU-8光刻胶的优点:适合于制备高深宽比微结构,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形;它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性。FSU- 8 含有大量的C-F键,可以进一步的增加材料的耐腐蚀性、耐候性,并且在通讯波长(850、1310、1550nm)具有极低的光学损耗、低双折射率、高稳定性。材料的折射率在1.483~1.588范围内可调,适宜于制作阵列式光波导、光栅、直型波导等光通信、调制、传输等器件。